К вопросу о создании литографических машин..

               

 Я уже писал о том, что ведущие позиции в производстве современных литографических машин занимает голландская компания ASML и она определяет возможные перспективы современной микроэлектроники.
  Все дело в том, что ASML создали тот самый инструмент без которого Apple, Самсунг и Intel с AMD фактически как без рук! Речь идёт о EUV литографии, но с приставкой High-NA EUV и об установке стоимостью более 120 миллионов долларов. Она огромная, 180-тонная, потребляет почти 1 мегаватт электроэнергии, и ей нужно почти 1.5 тонны воды в минуту для охлаждения! Но даже при такой цене очереди на них стоят годами ведь в год этих машин производится несколько десятков штук.
  Но не только ASML стоит за спиной нам известных IT-гигантов. Их установки состоят из более чем 100 тысяч деталей, которые производятся более чем тысячей компаний по всему миру. Все эти компании связаны друг с другом!
 Большое количество комплектующих изделий производится многими европейскими компаниями.
   Так случилось, что мне пришлось короткое время участвовать в разработке отдельных элементов для таких машин. Одним из основных участников
является концерн ZEISS, совместно с ним мы разрабатывали сложнейшие тонкостенные корпусные узлы будущей машины.
  Вначале я никак не мог понять, что это за детали, нежёсткие, но такой высокой точности. Непосредственно мне было задание разработать концепт фиксации этих сложных узлов для хранения и транспортировки до сборки самой машины.
Казалось простая задача, но нужно было сохранить идеальную чистоту после чистой комнаты и таким образом зафиксировать изделие, чтобы в нём не возникали никакие напряжения в процессе подготовки к сборке. Учитывая большие размеры и тонкостенную конструкцию, это было сделать непросто. Мне пришлось предложить несколько вариантов, было много обсуждений конструкций  и в итоге один из них был утверждён и успешно реализован..